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本实用新型提供一种防止反应腔尾管阻塞的装置，所述装置包括至少一根气体通入管道，所述气体通入管道安装在所述反应腔的尾管上，通过所述气体通入管道往所述尾管中通入具有一定温度的保护性气体。本实用新型通过在尾管中通入具有一定温度的保护性气体，加速反...
该专利属于镓特半导体科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镓特半导体科技（上海）有限公司授权不得商用。

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