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本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，属于玻璃镀膜设备技术领域。它解决了旋转靶使用寿命短、冷却效果差等技术问题。一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，本旋转靶包括靶芯、冷却管、驱动装置、磁块和靶材，冷却管位于靶芯内，靶芯的一端通过若干个支撑套与...
该专利属于咸宁南玻节能玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过咸宁南玻节能玻璃有限公司授权不得商用。

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