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本实用新型的特点在于提供一种应用光谱仪来量测电浆气体解离状态的量测装置。其原理主要藉由侦测管体内之气体解离状态，并藉由本装置计算出解离相对量值，俾于气体的主路径污染值过高时，由一第二路径适量释出被解离之反应气体，以排除该主路径之污染物，从而...
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