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本实用新型公开了一种用于测量额定压差下薄膜对特定气体漏率的系统，包括：第一腔体、第二腔体和薄膜安装法兰，所述第一腔体一端连接有复压阀，所述第一腔体上部连接有第一薄膜规，所述第一腔体下部连接有第三挡板阀和第四挡板阀，第四挡板阀连接有流量计，所...
该专利属于合肥科烨电物理设备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥科烨电物理设备制造有限公司授权不得商用。

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