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一种便携式高加速宏微运动平台制造技术
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下载一种便携式高加速宏微运动平台的技术资料
文档序号:17841161
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本发明属于微电子制造技术领域,具体涉及一种便携式高加速宏微运动平台,包括底座,底座上设置有平台底座,平台底座上设置有X轴平台,X轴平台上设置有Y轴平台,底座上设置有旋转电机,旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮,X轴平台的底部侧面设置有X轴齿条...
该专利属于河南工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南工业大学授权不得商用。
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