一种便携式高加速宏微运动平台制造技术

本发明专利技术属于微电子制造技术领域，具体涉及一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，底座上设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，X轴平台的底部侧面设置有X轴齿条，Y轴平台的底部侧面设置有Y轴齿条，齿轮同时与X轴齿条和Y轴齿条啮合，Y轴平台的上方设置有XY微动平台，X轴平台与平台底座之间设有X轴导轨副，X轴平台与Y轴平台之间设有Y轴导轨副，该便携式宏微运动平台采用了旋转电机同时驱动X轴平台和Y轴平台，解决了传统平台占用大量空间而无法节省整机空间和成本的问题，同时使X/Y轴平台高加速直线运动，使平台能实现快速定位。

【技术实现步骤摘要】
一种便携式高加速宏微运动平台
本专利技术属于微电子制造
，具体涉及一种便携式高加速宏微运动平台。
技术介绍
当前作为关键装备的宏微运动平台已经为微电子产业快速发展和生产力的提高提供了重要的技术支持，特别在引线键合以及光刻等微电子制造领域内，更为其发展提供了有力的动力支持。目前，为了完成宏微运动平台的高速和超精密定位等目标，往往提供相对大体积的宏动电机进行驱动完成目标，而两个直线电机并联驱动使占有空间大，无法缩减，这常常是忽略考虑设备空间资源的情况下进行的，进而造成空间布局被动以及不合理，甚至产生生产效率低下及资源浪费现象。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，而提供的一种便携式高加速宏微运动平台，该便携式宏微运动平台解决了并联驱动电机占用大量空间而无法节省整机空间和成本的问题。本专利技术是这样实现的：一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，其特征在于：所述底座的中间位置设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，平台底座的中间位置设置有平台底座通孔，平台底座上面设置有贯穿X轴方向的台阶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，其特征在于：所述底座的中间位置设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，平台底座的中间位置设置有平台底座通孔，平台底座上面设置有贯穿X轴方向的台阶，X轴平台的中间位置设置有X轴平台通孔，X轴平台的下面的设置有贯穿X轴方向的台阶和凹槽，X轴平台的凹槽一侧面设置有X轴齿条，X轴平台的上面设置有贯穿Y轴方向的台阶，Y轴平台的下面的设置有贯穿Y轴方向的台阶和凹槽，Y轴平台的凹槽一侧面设置有Y轴齿条，Y轴平台的上方设置有XY微动平台，XY微动平台上设置有X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶...

【技术特征摘要】
1.一种便携式高加速宏微运动平台，包括底座，底座上设置有平台底座，平台底座上设置有X轴平台，X轴平台上设置有Y轴平台，其特征在于：所述底座的中间位置设置有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定设置有齿轮，平台底座的中间位置设置有平台底座通孔，平台底座上面设置有贯穿X轴方向的台阶，X轴平台的中间位置设置有X轴平台通孔，X轴平台的下面的设置有贯穿X轴方向的台阶和凹槽，X轴平台的凹槽一侧面设置有X轴齿条，X轴平台的上面设置有贯穿Y轴方向的台阶，Y轴平台的下面的设置有贯穿Y轴方向的台阶和凹槽，Y轴平台的凹槽一侧面设置有Y轴齿条，Y轴平台的上方设置有XY微动平台，XY微动平台上设置有X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器，X轴压电陶瓷驱动器和Y轴压电陶瓷驱动器通过柔性铰链与XY微动平台连接，X轴平台与平台底座之间的台阶处设置有X轴第一导轨副和X轴第二导轨副，X轴平台与Y轴平台之间的台阶处设置有Y轴第一导轨副和Y轴第二导轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：张璐凡，李勤良，田海龙，冯伟，杨丽彦，陈晨，李雪丽，
申请(专利权)人：河南工业大学，
类型：发明
国别省市：河南,41