下载防溅射分子沉骨架的技术资料

文档序号:17835441

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本发明涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域,尤其涉及一种防溅射分子沉骨架。防溅射分子沉骨架包括圆筒形防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶骨架主体;圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管;底端防溅射靶...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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