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本发明公开了一种钒掺杂二氧化钛薄膜的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供一基材；S2、以Ti靶为Ti源，将钒片放置于Ti靶上方，在He和N2气氛中，采用磁控溅射法在基材上生长钒掺杂的TiN薄膜；S3、将钒掺杂的TiN薄膜在O2气氛中进行退...
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