下载超高真空传样系统的样品传递装置的技术资料

文档序号:17829007

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本发明提供一种超高真空传样系统的样品传递装置,其包括:平台车,其能移动的设于所述超高真空传样系统中,所述平台车上设有多个停放台;多个托盘,每个所述托盘能拆卸的卡设于一所述停放台,所述托盘沿周向等间隔设有多个压弹部,两两相邻的所述压弹部之间能...
该专利属于清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;费勉仪器科技(上海)有限公司授权不得商用。

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