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本发明公开一种埋入式字符线的制作方法，首先，提供一基底，基底中包含有多个浅沟隔离，接着形成多个第一图案化材料层，位于该基底上方，其中任两相邻的第一图案化材料层之间包含有一第一凹槽，然后形成至少一第二图案化材料层，位于该第一凹槽内，以及通过各...该专利属于联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司授权不得商用。