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本发明涉及一种对声表面波滤波器光刻套刻的方法及声表面波滤波器，该方法包括：在压电基片表面上制作芯片金属图形；对制作好芯片图形的压电基片表面进行光刻胶匀胶；匀胶后进行烘烤；烘烤后确定最佳曝光焦面；再确定偏离最佳曝光焦面预定距离的曝光焦面；然后...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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