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本发明涉及一种基板半板检测装置，包括：底座、承载台、检测组件、探针组件及暂存工位；所述底座上设有轨道，所述承载台滑动设置于轨道上，且包含第一载台A及第二载台B；所述检测组件设置于轨道上方，包括龙门头和检测头，所述龙门头设置于底座上，所述检测...
该专利属于苏州精濑光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州精濑光电有限公司授权不得商用。

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