下载一种绝对式光栅尺及位移测量方法的技术资料

文档序号:17810443

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本发明实施例公开了一种绝对式光栅尺及位移测量方法。其中,光栅尺主体根据伪随机码原理设有表征绝对位置信息的绝对码道;光电探测器采集光源模块出射的平行光束照射至光栅尺主体后反射的绝对码道光栅图像的光信号作为绝对码道图像信息,绝对码道图像信息包括...
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