下载一种真空镀膜生产线用旋转平台机构的技术资料

文档序号:17807714

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本发明公开了一种真空镀膜生产线用旋转平台机构,包括:一驱动组件、一与驱动组件连接的旋转组件和一固定在旋转组件上的限位组件,驱动组件驱动旋转组件上的旋转盘转动,限位组件的旋转光电感应器、感应棒和感应信号元件固定在旋转组件上,限位组件控制旋转盘...
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