下载包括电介质层的半导体器件的技术资料

文档序号:17782226

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一种半导体器件包括:衬底上的堆叠结构,所述堆叠结构包括彼此交替地堆叠的层间绝缘层和第一栅电极;穿透所述堆叠结构的开口中的半导体层;所述半导体层和所述堆叠结构之间的第一电介质层;以及所述堆叠结构中更靠近所述衬底而不是所述第一栅电极的下部图案,...
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