下载一种LED芯片切割道标识及其制作方法的技术资料

文档序号:17782203

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本发明公开了一种LED芯片切割道标识及其制作方法,属于半导体器件加工领域。本发明通过在LED芯片的GaP层制作切割道标识的方法,来判断切割过程中刀痕是否发生偏移,方法非常巧妙,可精准定位切割位置,并反馈切割质量,成本低,标识的制作方法为湿法...
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