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本发明公开了一种高粘附力速显影性感光干膜抗蚀剂,所述它由溶剂和溶解在溶剂中的浓度为30‑50wt%的抗蚀核心组分组成;所述抗蚀核心组分包含碱可溶性树脂、烯属光聚合性不饱和单体、光聚合引发剂、染色剂和添加剂,所述烯属光聚合不饱和单体包括含环糊...该专利属于浙江福斯特新材料研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江福斯特新材料研究院有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种高粘附力速显影性感光干膜抗蚀剂,所述它由溶剂和溶解在溶剂中的浓度为30‑50wt%的抗蚀核心组分组成;所述抗蚀核心组分包含碱可溶性树脂、烯属光聚合性不饱和单体、光聚合引发剂、染色剂和添加剂,所述烯属光聚合不饱和单体包括含环糊...