下载控制压印材料扩散的方法的技术资料

文档序号:17778536

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

公开了控制压印材料扩散的方法。在可用于压印光刻的基板上具有限定压印场的位置,所述压印场还由内部区域、围绕所述内部区域的周边区域以及边界进一步限定,其中所述周边区域还包括流体控制特征。允许在压印场位置处沉积在基板上的可聚合材料在基板上扩散,其...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。