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控制压印材料扩散的方法技术
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文档序号:17778536
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公开了控制压印材料扩散的方法。在可用于压印光刻的基板上具有限定压印场的位置,所述压印场还由内部区域、围绕所述内部区域的周边区域以及边界进一步限定,其中所述周边区域还包括流体控制特征。允许在压印场位置处沉积在基板上的可聚合材料在基板上扩散,其...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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