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一种用于微流控芯片键合强度测试的固定装置制造方法及图纸
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下载一种用于微流控芯片键合强度测试的固定装置的技术资料
文档序号:17777521
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本发明公开了一种用于微流控芯片键合强度测试的固定装置,由支撑外壳和带有吸盘的气阀组成,芯片由吸盘的吸力固定,装置使用时需外接真空泵来提供吸盘的吸力,只有当吸盘受到到一定外力作用并产生一段位移后才能开启气阀,实现对芯片的吸附固定;未产生位移的...
该专利属于北京化工大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京化工大学授权不得商用。
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