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一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计制造技术
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文档序号:17777328
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本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计,所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路;其中,密封空腔的一端设有电极引线,另一端设有高分子聚合物薄膜,高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极,金属微电极之间设有金属纳米...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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