一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计制造技术

本发明专利技术公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明专利技术所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。

【技术实现步骤摘要】
一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计
本专利技术属于自动检测仪器领域，涉及一种气体压力计的改良装置，具体为一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计。
技术介绍
微小气压差的测量在工业过程控制，气体传输，化工自动化，气象测量，GPS三维定位等领域具有重要的意义。目前，根据压力范围、测量精度和成本的不同，已有数十种气压计被实际使用。包括利用U型管两端液面差来测量压力的静态液位真空计，利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值大小的弹性元件真空计，利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成的热偶真空计和皮喇尼(电阻)真空计,利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随压力变化的原理制成的电离真空计等。目前，并不存在能够覆盖从低气压到高气压全部压力范围的单一气压计。所有气压计都是在某一压力范围内才能给出显著的响应，超出这个范围，响应迅速变弱消失。其中，适合在大气压环境中进行测量的气压计，常用的有弹性元件真空计、U型管真空计等。弹性元件真空计灵敏度和精度都很低，U型管真空计精度较好，但尺寸庞大，使用不便。而且两者都不能直接实现数字式测量。近年来，出现了一种可工作于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，其特征在于，所述压力计包括密封空腔(1)和电导测量外电路(6)；其中，密封空腔(1)的一端设有电极引线(2)，另一端设有高分子聚合物薄膜(3)，高分子聚合物薄膜(3)在密封空腔(1)中的一侧涂覆有至少一对金属微电极(4)，金属微电极(4)之间设有金属纳米粒子点阵(5)；电导测量外电路(6)上设有电极(7)，电极(7)与电极引线(2)相连，并对应地连接到金属微电极(4)上。

【技术特征摘要】
1.一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，其特征在于，所述压力计包括密封空腔(1)和电导测量外电路(6)；其中，密封空腔(1)的一端设有电极引线(2)，另一端设有高分子聚合物薄膜(3)，高分子聚合物薄膜(3)在密封空腔(1)中的一侧涂覆有至少一对金属微电极(4)，金属微电极(4)之间设有金属纳米粒子点阵(5)；电导测量外电路(6)上设有电极(7)，电极(7)与电极引线(2)相连，并对应地连接到金属微电极(4)上。2.根据权利要求1所述的一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，其特征在于，所述密封空腔(1)的材质为不锈钢、铜、铝、陶瓷或聚四氟乙烯，体积为1mL～100L。3.根据权利要求1所述的一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，其特征在于，所述高分子聚合物薄膜(3)的厚度为0.05mm～0.5mm，电阻率在109Ω·m以上，弹性模量在4000MPa以内。4.根据权利要求3所述的一种基于纳米粒子点阵的电阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈敏瑞，周剑峰，谢波，刘飞，韩民，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32