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本实用新型公开了一种氮化镓异质结HEMT,包括衬底层、第一外延层、第二外延层、介质层、源极、栅极和漏极,所述第一外延层、第二外延层和介质层从下到上依次生长在衬底层上,所述第一外延层和第二外延层接触形成异质结,所述介质层上开设有源极孔和栅极孔...该专利属于张家港意发功率半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过张家港意发功率半导体有限公司授权不得商用。
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