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本实用新型涉及一种镀膜承载盘及其镀膜设备，在晶片的边缘特定区域镀制磁吸附性物质形成磁吸性区，并且在镀膜承载盘放置晶片的开口的内缘设置磁性块，以及在磁性块对应位置设置Z型磁性支撑架，晶片放置在Z型磁性支撑架上，并且其与晶片磁吸附性区接触位置产...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。

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