下载一种铜银合金靶材的制备方法的技术资料

文档序号:17771201

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本发明属于溅射靶材技术领域,公开了一种铜银合金溅射靶材的制备方法。该方法主要包括:按重量百分比为银含量0.001‑1.0%;铜含量99.999‑99%配料,采用真空感应熔炼技术制备铜银合金铸锭,将铜银合金铸锭坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变...
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