下载金刚线硅片切割工艺的技术资料

文档序号:17761010

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本发明公开了一种能够实现硅棒线切割提高切割效率,降低切割成本的金刚线硅片切割工艺。该金刚线硅片切割工艺,包括以下步骤:1)采用硅棒上料装置在硅棒的上表面上粘接树脂板;2)硅棒上粘接完成树脂板后,将硅棒固定在硅棒线切割机上;并且切割金属线选用...
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