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一种多晶硅片切割夹具制造技术
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下载一种多晶硅片切割夹具的技术资料
文档序号:17756787
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本实用新型公开了一种多晶硅片切割夹具,包括底座、螺母二、螺母一、螺杆、螺帽、限位块、轴承、支撑板、螺栓一、滑槽、滑轨、螺栓二、弧形夹块、水平夹块、支撑板导轨、水平夹紧装置、弧形夹紧装置和螺栓三,所述底座上设置有水平夹紧装置和弧型夹紧装置,且...
该专利属于浙江华友电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江华友电子有限公司授权不得商用。
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