下载激光划片装置的技术资料

文档序号:17754557

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本实用新型涉及一种激光划片装置,其能够在使用激光束切割脆性材料基板的时候容易地改变激光束的焦距。本实用新型提供了一种激光划片装置,其用于通过向基板发射激光束来在基板上执行划片操作,该激光划片装置包括:激光发射单元,其接收激光束并将该激光束发...
该专利属于塔工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过塔工程有限公司授权不得商用。

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