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激光气体精炼系统作为将从使用包括氙气的激光气体的ArF准分子激光装置排出的排出气体精炼而供给到ArF准分子激光装置的激光气体精炼系统，具备：氙捕捉器，其降低排出气体的氙气浓度；及氙添加装置，其向通过了氙捕捉器的排出气体添加氙气。...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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