下载具有串联连接的增强模式栅极区域和耗尽模式栅极区域的异质结场效应晶体管器件的技术资料

文档序号:17746658

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大致而言,异质结场效应晶体管器件包括支撑沟道区域的第一压电层、在第一压电层上方的第二压电层以及源极和漏极。在第二压电层上方的电介质层将源极和漏极电分离,并具有多个区段,这些区段中的两个区段通过第一间隙分离。第一栅极具有第一尖端,第一尖端在第...
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