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本实用新型公开了一种硅片清洗架，涉及硅片清洗装置技术领域，包括能够放置到超声波清洗池内的清洗筐，所述清洗筐内设若干个硅片放置区，所述硅片放置区上下为敞口状，相邻硅片放置区间设有支撑台，用于盛放硅片的清洗篮两侧凸檐能够放置在支撑台上，利用支撑...
该专利属于邢台晶龙电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过邢台晶龙电子材料有限公司授权不得商用。

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