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微型刀具离子镀膜设备真空室上盖防落、引导及定位机构，包括安装于圆柱形真空室上部的定位套和安装于上盖上的定位柱，圆柱形定位套上设有与上盖旋转角度匹配的凹位，定位套上位于凹位一端处设有与定位柱相匹配的凹槽，定位套内部位于凹位圆周上设有用于放置上...
该专利属于大连维钛克科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连维钛克科技股份有限公司授权不得商用。

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