下载一种多蒸发源镀膜装置的技术资料

文档序号:17731911

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本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种多蒸发源镀膜装置,其特征在于:在所述镀膜伞架下方设置有至少两个蒸发源,在所述蒸发源的上方分别设置有对应的膜厚补正板,所述膜厚补正板连接有驱动装置,所述膜厚补正板可在所述驱动装置的驱动下升起或下降,所...
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