温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种机械手，属于半导体制备技术领域，其可解决现有的机械手指的预热时间过长的问题。本发明的机械手，包括机械手指，所述机械手指用于传输待加工工件，所述机械手指还包括加热件；所述加热件用于预热所述机械手指。...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。