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本实用新型提供一种用于MOCVD设备中的石墨盘，包括多个用于放置衬底的凹槽，所述凹槽的侧壁上设置有由该侧壁朝所述凹槽内凸出的凸出结构，所述凸出结构包括一个或多个凸出部，所述凸出部使得所述衬底在所述石墨盘转动离心力的作用下，所述衬底的侧壁仅与...
该专利属于中晟光电设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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