温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种镀膜进气结构，包括一个或两个并列的离子源及设置在离子源两侧的分气块，分气块的出气口至基板的间距小于离子源的出气口至基板的间距；离子源的两侧还设置有对应分气块的陶瓷板。该实用新型可直接增加N个这种进气结构独立独立单元，组合...
该专利属于常州比太科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州比太科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。