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本实用新型涉及一种磁控溅射镀膜生产中阻挡低能量溅射粒子的防热变形装置，所述装置位于靶材和基体之间，所述基体的待镀设表面沿水平方向设置，所述装置包括多组位于所述基体待镀设表面正上方的挡板组件，每组所述挡板组件包括相对设置的两阴极挡板，所述阴极...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。