温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种200取向TiN电极，所述200取向TiN电极包括氮化钛、氮氧化钛和二氧化钛，其中，所述氮化钛的摩尔分数为11％～42％，所述氮氧化钛的摩尔分数为17％～47％，所述二氧化钛的摩尔分数为26％～56％。本发明提供的200取向T...
该专利属于中国地质大学（武汉）所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质大学（武汉）授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。