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非易失存储器单元及其制备方法技术
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文档序号:17707955
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本发明实施例提供了一种非易失存储器单元及其制备方法,该非易失存储器单元包括衬底,位于衬底上的栅极、以及覆盖栅极的功能层,该功能层设置有依次叠置的氧离子蓄积层、氧离子控制层、以及氧化物半导体层,存储器单元的源极和漏极氧离子控制层上,且氧化物半...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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