下载一种半导体芯片的封装结构及其封装方法的技术资料

文档序号:17707913

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本发明公开了一种半导体芯片的封装结构及其封装方法,属于半导体芯片封装技术领域。其硅基本体的上方设置再布线金属层Ⅰ,在所述输入/输出端Ⅰ设置金属柱,所述包封层包裹金属柱和再布线金属层Ⅰ的裸露面以及硅基本体的侧壁,并露出金属柱的上表面,所述介电...
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