下载一种晶圆级芯片封装结构及其封装方法的技术资料

文档序号:17707890

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本发明公开了一种晶圆级芯片封装结构及其封装方法,属于半导体芯片封装技术领域。其硅基本体(110)的正面设有钝化层(101)并嵌有金属焊盘(102),在硅基本体(110)正面覆盖正面保护层(200),在金属焊盘(102)处形成正面保护层金属焊...
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