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一种用于提取双栅砷化镓pHEMT器件寄生电容的开路结构测试方法，包括步骤一：设计开路测试结构，并建立开路测试结构等效电路；开路测试结构包括将双栅砷化镓pHEMT器件端口引出的互联线(Interconnect)和与探针接触来施加偏压的焊盘(P...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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