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本发明公开了一种原子层沉积自动镀膜装置，包括ALD反应器及自动上下料系统，所述自动上下料系统包括桨、抓舟机械手、舟平台滑动组件、载板、抓舟取盖天车、载具平移部组、硅片转移机构、花篮平移部组、花篮及舟；采用本发明的技术方案，可连续生产的ALD...
该专利属于江苏微导纳米装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米装备科技有限公司授权不得商用。

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