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本实用新型公开一种光波导薄膜和应用该光波导薄膜的阵列波导光栅，所述光波导薄膜包括硅基底层和设于所述硅基底层一侧的二氧化锆芯层、及包裹于所述二氧化锆芯层外表面的二氧化硅层，所述二氧化硅层与所述硅基底层层之间还设有连接层，所述连接层采用聚甲基丙...
该专利属于深圳正和捷思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳正和捷思科技有限公司授权不得商用。

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