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一种单晶硅掏棒装置包括了旋转轴、入水接头、刀具接头、导流管、掏棒刀具和单晶硅棒底座；旋转轴、入水接头、刀具接头、掏棒刀具和单晶硅棒底座沿同一竖直方向安装设置；入水接头固定安装在旋转轴顶部的安装接口上；掏棒刀具通过刀具接头竖直固定安装在旋转轴...
该专利属于宁夏中晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中晶半导体材料有限公司授权不得商用。

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