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搬送垫和晶片的搬送方法技术
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下载搬送垫和晶片的搬送方法的技术资料
文档序号:17668329
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提供搬送垫和晶片的搬送方法,在利用搬送垫对晶片进行搬送的情况下,不对搬送垫和空气流通的配管路径进行变更,就能够进行搬送垫对晶片的接触保持和非接触保持。搬送垫(1)具有:空气喷出口(100),其形成于保持面(10b),沿着保持面(10b)喷出...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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