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文档序号:17668310
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本发明提供一种能够抑制保护膜的残渣的产生的半导体装置。半导体装置包含半导体基板;导电膜,覆盖半导体基板的表面,且在表面具有相互平行地配置的多个凹部;以及保护膜,以在具备相对于多个凹部形成大于0°且小于90°的角度的边的开口部使导电膜部分露出...
该专利属于拉碧斯半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过拉碧斯半导体株式会社授权不得商用。
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