下载半导体装置的技术资料

文档序号:17668310

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种能够抑制保护膜的残渣的产生的半导体装置。半导体装置包含半导体基板;导电膜,覆盖半导体基板的表面,且在表面具有相互平行地配置的多个凹部;以及保护膜,以在具备相对于多个凹部形成大于0°且小于90°的角度的边的开口部使导电膜部分露出...
该专利属于拉碧斯半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过拉碧斯半导体株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。