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提供了一种能够稳定地折取压电振动片的晶圆。晶圆(60)具备压电振动片(3)、框架部(62)、以及将压电振动片(3)和框架部(62)连结的连结部(70),连结部(70)具备在将连结部(70)作为起点从框架部(62)折取压电振动片(3)时,将从...该专利属于精工电子水晶科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精工电子水晶科技股份有限公司授权不得商用。
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提供了一种能够稳定地折取压电振动片的晶圆。晶圆(60)具备压电振动片(3)、框架部(62)、以及将压电振动片(3)和框架部(62)连结的连结部(70),连结部(70)具备在将连结部(70)作为起点从框架部(62)折取压电振动片(3)时,将从...