下载一种半导体晶片专用的取放装置的技术资料

文档序号:17659043

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本实用新型涉及一种晶片抓取设备,具体为一种半导体晶片专用的取放装置。包括吸附抓取头部(1),吸附抓取头部(1)包括抓取面板(101),及与抓取面板(101)粘接形成一体式结构的密封板(2),其抓取面板(101)与密封板(2)之间的粘接缝处设...
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