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本实用新型公开了一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构。包括石墨舟片若干、用于固定硅片的多个卡点、相邻石墨舟片对应位置处的卡点之间套半镂空陶瓷环。该饱和用管式PECVD石墨舟，能够有效保护卡槽不被沉积氮化硅，而卡点上表面饱和氮化硅，从...
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