温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Poc...
该专利属于上海东洋炭素有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海东洋炭素有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。